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產品名稱：日立熱場式場發射掃描電鏡SU5000
產品型號：
產品廠商：日立(Hitachi)

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簡單介紹：

日立熱場式場發射掃描電鏡SU5000分辨率1.2 nm @ 30 kV，可選配低真空模式，真空范圍: 10 - 300 Pa，可選配5分割半導體探測器 (PD-BSD)、能譜儀 (EDS)、波譜儀 (WDS)、背散射電子衍射探測器 (EBSD)等多種附件。

詳情介紹：

日立熱場式場發射掃描電鏡SU5000特點：
▲高性能電子光學系統
二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)＊
高靈敏度: PD-BSD, 強的低加速電壓性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于微區分析
▲性能優良
壓力可變: 具有優的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測器(UVD)＊
開倉室快速簡單換樣(大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微區分析: EDS, WDS, EBSD等等
*選配附件

日立熱場式場發射掃描電鏡SU5000規格：

項目

內容

分辨率

1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

放大倍率

10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

電子光學系統

電子槍

ZrO /W 肖特基式電子槍

加速電壓

0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進)

著陸電壓

減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1

大束流

> 200 nA

探測器

低位二次電子探測器

低真空模式*2

真空范圍: 10 - 300 Pa

馬達臺

馬達臺控制

5 - 軸自動 (優中心)

可動范圍

X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°

大樣品尺寸

大直徑: 200 mm
大高度: 80 mm

選配探測器

高分辨率頂位二次電子探測器＊1

高靈敏度低真空探測器 (UVD)

5分割半導體探測器 (PD-BSD)*3

能譜儀 (EDS)

波譜儀 (WDS)

背散射電子衍射探測器 (EBSD)

*1：減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測器）

*2：低真空功能（包含5分割半導體探測器）

*3：空壓機(本地采購)

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滬公網安備 31011302004634號

項目		內容
分辨率		1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 減速模式1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式2
放大倍率		10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
電子光學系統	電子槍	ZrO /W 肖特基式電子槍
	加速電壓	0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進)
	著陸電壓	減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
	大束流	> 200 nA
探測器		低位二次電子探測器
低真空模式*2		真空范圍: 10 - 300 Pa
馬達臺	馬達臺控制	5 - 軸自動 (優中心)
	可動范圍	X：0～100mm Y：0～50mm Z：3～65mm T：-20～90° R：360°
	大樣品尺寸	大直徑: 200 mm 大高度: 80 mm
選配探測器		高分辨率頂位二次電子探測器＊1 高靈敏度低真空探測器 (UVD) 5分割半導體探測器 (PD-BSD)*3 能譜儀 (EDS) 波譜儀 (WDS) 背散射電子衍射探測器 (EBSD)

產品名稱：日立熱場式場發射掃描電鏡SU5000